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AI KOREA 시스템사업부
- 비 접촉 건식 세정 System
- AP Plasma Technology
- Ultra Sonic dry Cleaner (USC) Techology
- CMP Pad Dry Cleaning equipment / VMB Box
Ultrasonic Dry Cleaning Technology
대기압상태에서 초음파 세정이 가능하기 위해서는 적정 수준의 합성파 (입사파 + 반사파)를
형성해서 글라스 표면에 밀도가 높은 공기층을 만들고 충분한 음압으로 글라스 표면위의
입자(Particle)을 분리시켜야 하는데, 이를 위해서는 파동의 간섭성(Coherence length)이
일정하게 지속적으로 유지되는 것이 중요하며, AIK는 초음파 제어 기술을 확보하여
초음파의 levitation 효과를 유도 하는 독보적인 기술을 개발, 고성능의 USC를
상용화 하였습니다.
USC 처리 전
USC 처리 중
USC 처리 후
USC Advatages
01. 비산 0% 구현
연구팀의 Simulation 결과와
내부 Case 형상 구현 기술로
비산 0 % 구현
연구팀의 Simulation 결과와
내부 Case 형상 구현 기술로
비산 0 % 구현
02. Controller 자체 기술 보유
자체 개발 & 제작으로 안정성과
높은 성능 / 편의성을 가진
Controller 자체 기술 보유
자체 개발 & 제작으로 안정성과
높은 성능 / 편의성을 가진
Controller 자체 기술 보유
03. 전 부품 내재화
지속적인 연구로 고전압 & 저전력에
효과적인 Inner metal 구현
지속적인 연구로 고전압 & 저전력에
효과적인 Inner metal 구현
04. Head Slit 가공 기술
다년간의 노하우를 지닌 가공 기술로
고성능의 Ultra Sonic이 발생되는
Head Slit 자체 기술 보유
다년간의 노하우를 지닌 가공 기술로
고성능의 Ultra Sonic이 발생되는
Head Slit 자체 기술 보유
Competitveness
Controller 기술 보유
→ 별도 구매 제품 X, 자체 기술 O, 자체생산 O
→ 별도 구매 제품 X, 자체 기술 O, 자체생산 O
가공사업부 보유로 전 부품 자체 가공
→ 다년간의 노하우를 가진 가공 사업부를 보유하여
전 부품 자체 생산
→ 다년간의 노하우를 가진 가공 사업부를 보유하여
전 부품 자체 생산
독자적인 Head Slit 기술 보유
→ 비산 0 % 실 구현 및 검증 완료 (S社 정식 검증)
→ 99.5%이상의 높은 제거율 실 구현 및 검증 완료
(S社 정식 검증)
→ 비산 0 % 실 구현 및 검증 완료 (S社 정식 검증)
→ 99.5%이상의 높은 제거율 실 구현 및 검증 완료
(S社 정식 검증)
Reliability
TEMP. & Pressure Sensor & Display
온도 센서 YES! 압력 센서 YES!
실시간 Display YES!
온도 센서 YES! 압력 센서 YES!
실시간 Display YES!
Smog Sensor
화재 안전 관련 #2 안전 장치로
연기 센서 장착!
화재 안전 관련 #2 안전 장치로
연기 센서 장착!
Pad Lock! EMS!
전기 안전 관련 Pad Lock 장착!
긴급 안전 관련 EMS 장착!
전기 안전 관련 Pad Lock 장착!
긴급 안전 관련 EMS 장착!