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AP Plasma

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Electrode
- Electrode, 전극, Head라고 불리우며 실질적으로 장비 내에 설치가 되고, Plasma 효과를 토출하는 Part
- Process Gas를 주입 후 High Voltage를 인가하면 Plasma 효과 발생
- Exhaust Hood 에서 오존이나 제거된 유기물, 기타 부유성 Particle를 배출
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