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AI KOREA 系统事业

- 非接触干式清洗System
- AP Plasma Technology
- Ultra Sonic dry Cleaner (USC) Techology
- CMP Pad Dry Cleaning equipment / VMB Box

Ultrasonic Dry Cleaning Technology

在常压状态下,为达到超声波清洁效果,必须形成适当的合成波(入射波+反射波),
使玻璃表面形成密度高的空气层,并以充分的负压使玻璃表面颗粒(particle)进行分离,
为此,波动的干涉性(Coherence length),保持一定的持续性很重要,AIK确保超声波控制技术,
开发出可诱导出超声波levitation效果的独一无二的技术,实现了高性能USC的商用化

USC 处理前
USC 处理中
USC 处理后

USC Advatages

01. 实现0%飞散

研究部的Simulation结果与内部Case形象的体现技术,实现了0%飞散
02. Controller拥有自主技术

自行开发&制作,具有高稳定性和高性能/拥有便利性的Controller自主技术
03. 全部件内在化

持续研究实现高电压&低电能有效的Inner metal
04. Head Slit加工技术

具有多年经验的加工专有技术,拥有产生高性能的 Ultra Sonic的Head Slit自主技术

Competitveness

拥有Controller技术
→ 另购产品X,自主技术O,自主生产O
拥有加工事业部,全部件自行加工
→ 拥有多年经验的专业加工事业部,所有部件自行生产
拥有独立的Head Slit技术
→ 飞散率可实现0%且验证完毕(S社正式验证)
→ 可提现99%以上的去除率,
    且验证完毕(S社正式验证)

Reliability

TEMP. & Pressure Sensor & Display
温度传感器 YES! 压力传感器 YES!
实时Display YES!
Smog Sensor
火灾安全关联#2对于安全装置,
安装烟雾传感器
Pad Lock! EMS!
安装与电气安全相关的Pad Lock!
安装与紧急安全相关的EMS系统!