- 非接触干式清洗System
- AP Plasma Technology
- Ultra Sonic dry Cleaner (USC) Techology
- CMP Pad Dry Cleaning equipment / VMB Box
在常压状态下,为达到超声波清洁效果,必须形成适当的合成波(入射波+反射波),
使玻璃表面形成密度高的空气层,并以充分的负压使玻璃表面颗粒(particle)进行分离,
为此,波动的干涉性(Coherence length),保持一定的持续性很重要,AIK确保超声波控制技术,
开发出可诱导出超声波levitation效果的独一无二的技术,实现了高性能USC的商用化