DIEHARD SERIES : 중,대형 Type
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작성자 AI KOREA 댓글 0건 조회 1,047회 작성일 18-12-21 15:26본문
목적 | 중,대형 제품의 한 면을 Plasma 처리하기 위한 목적. |
주요 공정 | 대형 Glass 세정 |
Part 구성 | Electrode, Power Supply, UT Box, High Voltage Cable, 통신선, Ozone Killer (Option) |
Lay-Out |
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AIK PRODUCTS
AP Plasma
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Electrode
- Electrode, 전극, Head라고 불리우며 실질적으로 장비 내에 설치가 되고, Plasma 효과를 토출하는 Part
- Process Gas를 주입 후 High Voltage를 인가하면 Plasma 효과 발생
- Exhaust Hood 에서 오존이나 제거된 유기물, 기타 부유성 Particle를 배출
- Process Gas를 주입 후 High Voltage를 인가하면 Plasma 효과 발생
- Exhaust Hood 에서 오존이나 제거된 유기물, 기타 부유성 Particle를 배출
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