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AP Plasma

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Electrode
- Electrode, 전극, Head라고 불리우며 실질적으로 장비 내에 설치가 되고, Plasma 효과를 토출하는 Part
- Process Gas를 주입 후 High Voltage를 인가하면 Plasma 효과 발생
- Exhaust Hood 에서 오존이나 제거된 유기물, 기타 부유성 Particle를 배출
Product Line Up

DIEHARD SERIES : U - TYPE

페이지 정보

작성자 AI KOREA 댓글 0건 조회 1,883회 작성일 18-12-24 15:09

본문

목적

극소 부위 (Torch Plasma 대용)나 Plasma 처리가 잘 되는 제품에 사용. 

주요 공정

BPL, AFC Bonding, COG, FOG, FOF 등 극소 부위 처리 공정 

Part 구성

Electrode, Power Supply, UT Box, High Voltage Cable, 통신선, Ozone Killer (Option)  

Lay-Out

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